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美國NPGS EBL 納米圖形發(fā)生系統(tǒng)

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JC Nabity電子束曝光系統(tǒng)(NPGS納米圖形發(fā)生器)

詳細摘要：自上世紀八十年代成立以來，美國JC Nabity Lithography Systems公司一直致力于基于商品SEM、STEM或FIB的電子束光刻裝置的研制，其...
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